深圳大学 - 竞价公告 (CF105902024000591)-比比招标网

*. 需按照深大提供的***文件进行光刻工艺服务 *.需采用无掩膜紫外光刻机进行加工 *.工艺需求参数： *. 需采用*** ***光源对样品做光刻工艺，光刻速率需≥* ***/***， *.等间距线宽≤* **，特征尺寸≤*** **： *. 样品厚度：≥* **，样品尺寸：≥*** ** *. 套刻精度≤ ***** (*******) *.显影服务：根据图纸文件，对提供的样品进行显影，.*** 显影液：*.**%****； *.**检测：显微镜下的光学检测，需清晰可见提供的光刻胶的厚度、陡直度以及**形貌。 *.以上所有测试，供应商需提供工艺相关的技术文档、设计规则文件和技术服务。

按行业标准提供服务

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