高真空电阻蒸发镀膜设备（XHGD-CG-2024208）采购公告
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高真空电阻蒸发镀膜设备（XHGD-CG-2024208）采购公告
更新时间
2024-06-12
关键词
浙江省
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高真空电阻蒸发镀膜设备（****-**-*******）采购公告
发布时间：****-**-** **:**:**阅读量：** 次
| 项目名称 | 高真空电阻蒸发镀膜设备 | 项目编号 | ****-**-******* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | ****-**-** **:**:** | 公告截止日期 | ****-**-** **:**:** |
| 采购单位 | 西湖大学光电研究院 | 付款方式 | 预付**%，到货后支付**%，验收合格后支付**% |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | 签约后*个自然日 | |
| 预算总价 | ￥ ******.** + *** + *** | ||
| 发票要求 | 增值税普通发票 增值税专用发票 | ||
| 含税要求 | |||
| 送货要求 | |||
| 安装要求 | |||
| 收货地址 | 杭州市富阳区江南路**号西湖大学光电研究院 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件 | ||
| 公告说明 | |||
采购清单*
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 高真空电阻蒸发镀膜 | * | 台 | 无 无 |
| 品牌 品牌* | |
|---|---|
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 预算单价 | ￥ ******.** |
| 技术参数及配置要求 | *. 真空腔室：直径不小于*****，高度不小于*****；采用上钟罩（高硼硅玻璃）+下底座（***不锈钢）结构；*. 真空系统：主泵采用分子泵，分子泵抽速不小于****/*，前级泵抽速不小于**/*；（*需提供相关证明文件）*. 真空极限：优于*.*×**-***；*. 抽速：抽至*.*×**-***≤*****；*. 基片台尺寸：最大可镀基片尺寸不小于φ*****，衬底水冷；*. 可在线监测镀膜速率和厚度，蒸镀速率分辨率不低于*.*埃/*；（*需提供相关证明文件）*. 蒸发源及电源：不少于两组蒸发源，陶瓷绝缘结构，预留拓展至多*组蒸发源孔位；不少于*台蒸发电源，功率不小于*.***；（*需提供相关证明文件） |
| 参考链接 | |
| 售后服务 | 服务网点:当地电话支持:****小时服务年限:*年服务时限:报修后*小时商品承诺:原厂全新未拆封正品质保期:两年 |
****-**-** **:**:**
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