序号 | 数量/单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
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* | 镀膜设备 | */台 | 杭州芯铂科技有限公司,定制 |
*.* 真空腔体:
*.*.* 真空腔体
腔体、管道和所有法兰均采用****** 不锈钢焊接,腔体内部设
计*套防污板,腔体外形直径**********
*.*.* 腔门
手动前开门结构,在腔门上设计*个直径***** 的观察窗,观
察窗带挡板。
*.*.* 功能模块
*、真空腔底部设计* 组电极杆,电极杆之间间距****
*、腔体侧壁安装真空计探头和预留法兰接口,腔体顶部采
用模块接口,
*、样品台法兰尺寸为******,
*、腔体上设计*个照明(***)。
*.* 真空系统组成及技术指标
*.*.* 真空系统获得及泵配置
抽速:****/*
口径:*****
机械泵:鲍斯
抽速:**/*
主阀:国产气动插板阀
口径:*****
漏率:&***;#***.****-***.**/*
安装方式:******
放气阀:电磁充气阀
真空测量:成都睿宝
* 底* 高复合真空计(* 个电阻规和* 个电离规)
*.*.* 样品台
样品台最大装载样品***,样品旋转*-*** 可调,手动升降调节
蒸基距,最大升降行程****,带*个电动样品台挡板,样品台可方便
拆卸,法兰接口******。
*.*.* 膜厚监
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按行业标准提供服务
| 镀膜机参数-*******.**** |
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