中南大学 - 竞价公告 (CB119422024001651)-比比招标网

*. 控制方式：*寸人机界面手动自动模式切换控制 *. 溅射电源：直流溅射电源 *. 镀膜功能：*-***秒*段可变换功率及挡板位和样品速度程序 *. 最大功率：≤***** *. 最大输出电压电流：电压≤***** 电流≤** *. 真空度：机械泵 ≤***（*分钟） *. 射频真空：≤**** *. 挡板类型：电控 *. 真空腔室：石英+不锈钢腔体φ***** * ***** **. 样品台：可旋转φ** （最大可安装φ**基底） **. 样品台转速：*转/分钟 **. 样品溅射源调节距离：**-***** ** 真空测量：皮拉尼真空计（已安装测量范围****** **-***） **. 预留真空接口：****抽气口 ****放气口 ***卡套进气口注：发货包含：溅射镀膜仪+机械泵+膜厚监测仪+水冷机，各*台

保修期：*年。保修期之外，按行业标准提供服务

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