深圳大学 - 竞价公告 (CB105902024000875)-比比招标网

*．技术参数  曝光面积：*英寸  曝光波长：*****  分辨力：*.***-***  对准精度：±***  掩模样片整体工件台运动范围：*：*****:****  掩模尺寸： *英寸,向下兼容  样片尺寸：*英寸，向下兼容，支持碎片  厚度可适应*.***--***(最大可扩展为****)  曝光方式：定时（倒计时方式）  具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光*种功能  双目双视场对准显微镜：可通过目镜目视对准，也可通过***+显示器对准，光学合像，光学最大倍数***倍，光学+电子放大***倍，物镜*对：*倍、**倍、**倍，目镜*对：**倍、**倍、**倍  调平接触压力通过传感器保证重复  数字设定对准间隙和曝光间隙  掩模相对于样片运动行程： *: ±*** *: ±*** *: ±*º  最大焦厚：*****（***胶，用户提供检测条件）  光源平行性：*.* º  曝光能量密度：&***;******/**²  单层曝光*键完成  采用球气浮自动找平  照明不均匀性： £*.*%（ ******范围）；  具备压印模块接口，也具备接近模块接口  曝光光源：****汞灯； *．外形尺寸：约******（长）*****(宽) ******（高） *．配置设备主要由均匀照明曝光系统、对准工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。 *.* 曝光系统  冷光椭球镜  ****进口直流高压汞灯(进口)  ***汞灯调节台  冷却风扇光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜*、准直镜镜*、蝇眼透镜组（**个透镜）、*线滤光片、场镜*、冷光反射镜*、反射镜* *.* 对准工件台系统  掩模样片整体运动台  掩模样片相对运动台  转动台  样片调平机构,自动完成  基片抽拉式上下机构  样片调焦机构，电机自动调  承片台*个：***** 、*英寸、*英寸、*英寸掩模夹*个：*.*英寸、*英寸、*英寸、*英寸 *.* 电控系统  光源、电源  双目双视场对准显微镜主体  目镜*对（**倍、**倍、**倍，共*个）  物镜*对（*倍、**倍、**倍，共*个） ***对准系统，**寸液晶显示器 *.* 气动控制系统及辅助配套设备 *.** 电控系统  单片机控制系统；  紫外***电源模块；  控制柜桌 *.** 气动系统  气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等  电磁阀驱动  气动仪表 *.** 真空泵 ** 空压机**

*、验收合格之日起，免费质保*年，终身维护。 *、质保期内*小时响应，**小时到达现场维修，质保期外**小时响应，终身维护。 *、售后服务*个工作日发现质量问题包换新或者退货。 *、原厂技术人员送货上门安装培训，当面验收，拒绝快递。

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