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招标公告深圳大学 - 竞价公告 (CB105902024000883)

更新时间 2024-07-03

关键词

广东省

基本信息：

采购明细：

序号		数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

原子层沉积仪

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(*)腔体：*英寸基底台； (*)反应模式：“快速沉积模式”、“充分暴露模式”、“掺杂模式”； (*)前驱体输送系统：高配*路自清洗；载气：高纯氮气/氩气； (*)真空系统：*******压力传感、真空泵； (*)电气温控系统：***控制； (*)配备触摸屏外设。

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