上海工程技术大学 - 竞价公告 (CB108562024000102)
招标公告 上海工程技术大学 - 竞价公告 (CB108562024000102)
更新时间 2024-08-06
关键词
上海市  
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*
湿法刻蚀机
*(台)
******
不指定
*-*
*.刻蚀机适用于*寸硅片的清洗。参数如下: 序号 名称 规格 化学液 * *-*刻蚀机 *寸 **片(*盒) 待定(非溶剂) *.*操作方式 手动装卸硅片架,其它所有操作手动完成。 所有化学液手动注入,**水自动注入,化学液的排放可根据客户要求弹性设定。 *.刻蚀机技术方案 *. 机 体: **抗静电板焊接而成(下图为大致示意图) *) 尺寸: 约**** * ***** * ***** ** *) 色泽: ****白 *) 板材厚度: **** *) 厂家: 进口 药剂槽 *****# *. 材质: **(*周板****,底板****) *. 化学药品: 酸性或碱性化学品(如***,***,***) *. **供给方式: 自动方式 *. ********供给方式: 手动,*点**液位保护 *. 形状: 循环槽体(外槽溢流,内槽进液) *. 循环泵: **隔膜泵 *. 过滤器外壳: **寸**过滤器(不含滤芯) *. 制程温度: ** *. 排液方式: 重力排放,口径
按行业标准提供服务
*****刻蚀机方案.***
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