序号 | 设备名称 | 数量/单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
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* |
湿法刻蚀机
| *(台) | ****** | 不指定 | *-* |
*.刻蚀机适用于*寸硅片的清洗。参数如下:
序号 名称 规格 化学液
* *-*刻蚀机 *寸 **片(*盒) 待定(非溶剂)
*.*操作方式
手动装卸硅片架,其它所有操作手动完成。
所有化学液手动注入,**水自动注入,化学液的排放可根据客户要求弹性设定。
*.刻蚀机技术方案
*. 机 体: **抗静电板焊接而成(下图为大致示意图)
*) 尺寸: 约**** * ***** * ***** **
*) 色泽: ****白
*) 板材厚度: ****
*) 厂家: 进口
药剂槽 *****#
*. 材质: **(*周板****,底板****)
*. 化学药品: 酸性或碱性化学品(如***,***,***)
*. **供给方式: 自动方式
*. ********供给方式: 手动,*点**液位保护
*. 形状: 循环槽体(外槽溢流,内槽进液)
*. 循环泵: **隔膜泵
*. 过滤器外壳: **寸**过滤器(不含滤芯)
*. 制程温度: **
*. 排液方式: 重力排放,口径
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按行业标准提供服务
| *****刻蚀机方案.*** |
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