上海工程技术大学 - 竞价公告 (CB108562024000144)-比比招标网

**-** *.采用日本进口控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和 *** 自整定功能，控温精确，可靠。 *.智能化触摸屏控制系统配套 *** 模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每*程序时间。 *.**** 气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保 **** 气体无外漏顾虑。整个系统采用优质材料制造，无发尘材料，适用 *** 级光刻间净化环境。 *.低液报警装置，采用国际领先的液体感测器，能及时灵敏给出指令（当 **** 液过低时发出报警并生成低液位报警记录） *.温度与 *** 联动保护功能（当 *** 没有启动程序时，加温功能启动不了，相反加温功能启动时，*** 程序未启动时会及时切断工作功能，发出警报） *. 载物托架：* 块 *.室温+**℃-***℃（最高温度 ***℃）控温范围：温度分辨率：*.*℃ 温度波动度：±*.*℃ *. 真空泵：爱德华干泵，真空度：*****， *.可放 * 寸晶圆片,* 寸晶圆片,* 寸晶圆片，* 寸晶圆片,；

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