高真空电阻蒸发镀膜设备（JJ2024002276）采购公告
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招标公告
高真空电阻蒸发镀膜设备（JJ2024002276）采购公告
更新时间
2024-11-05
关键词
天津市
蒸发,膜厚
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高真空电阻蒸发镀膜设备（************）采购公告
发布时间：****-**-** **:**:**阅读量：** 次
| 项目名称 | 高真空电阻蒸发镀膜设备 | 项目编号 | ************ |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | ****-**-** **:**:** | 公告截止日期 | ****-**-** **:**:** |
| 采购单位 | 南开大学[联系方式] | 付款方式 | 供方提供货物至需方指定地点经安装验收合格，双方签字确认后，*个工作日内支付全部货款。 |
| 联系人 | 成交后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 成交后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 到货时间要求 | 按照合同约定执行 | |
| 预算总价 | *** + *** + *** 未公布 | ||
| 发票要求 | 增值税普通发票 增值税专用发票 | ||
| 含税要求 | |||
| 送货要求 | |||
| 安装要求 | |||
| 收货地址 | 天津市津南区同砚路**号南开大学[联系方式]津南校区材料科学与工程学院*** | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第***条规定的供应商基本条件 | ||
| 公告说明 | |||
采购清单*
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 高真空电阻蒸发镀膜设备 | * | 台 | 无 无 |
| 品牌 品牌* | 维纳真空 |
|---|---|
| 型号 | 定制 |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 品牌* | |
| 型号 | |
| 预算单价 | ￥ *** |
| 技术参数及配置要求 | *. 真空腔室：Φ***×******，上钟罩（高硼硅玻璃）+下底座（*** 不锈钢）结构；*. 真空系统 ：****/* 抽速复合分子泵+直联旋片泵组成的大抽速、准无油真空系统；全量程数显复合真空计（*×***～*×**-***）；*.真空极限：≤*.*×**-***（*.*×**-*****）； *.抽速：分子泵完全启动，抽至 *.*×**-***≤*****； *.结构尺寸：（*）抽屉式结构，最大可镀基片尺寸：***×*****，该范围内可装卡各种规格基片：**～**** 方形 ***/*** 玻璃约 **～** 片；（*）基片掩膜：随设备提供*块掩膜板（客户需需提供掩膜图案）；（*）衬底水冷：采用基片台背板通冷却循环水强制水冷； *.蒸发源及电源：两组蒸发源；采用水冷式蒸发电极，可长时间稳定工作，兼容金属材料和有机材料的蒸发源结构设计；蒸发源配隔离屏蔽罩，防止两源交叉污染且屏蔽有害热量；*.膜厚监控：采用高精度石英晶振膜厚监控仪在线监测蒸镀速率、自控膜厚； *.蒸发电源： 台蒸发电源，通过切换按钮，能实现*次真空环境两源依次蒸发；额定功率：*.***，恒流工作模式，最大电流 ****；*.速率和膜厚监控：采用膜厚监控仪和开发的膜厚控制程序，蒸镀过程中实时监测蒸发速率，监控膜厚；厚度监测范围 *？～****？，分辨率 *？；速率监测范围 *.*？～****.*？/*，分辨率 *.*？；*.水冷系统：水冷部件有分子泵、蒸发电极、膜厚仪探头等；配高精度冷却循环水机 * 台；**.控制方式：*** 手自动控制，触摸屏操作；**.报警及保护：对分子泵、膜厚仪探头、蒸发电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的程序互锁、完备的防误操作设计及保护。 **. 特别定制：掩膜板*块。*、产品配置*. 高真空电阻蒸发镀膜设备*. 冷却循环水机；*.速率和膜厚检测系统；*.衬底水冷组件；*.衬底加热组件；*.说明书*份；*.包装箱*套； |
| 参考链接 | |
| 售后服务 | 按国家法定或行业要求提供售后服务。 |
南开大学[联系方式]
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