中国科学院重庆绿色智能技术研究院 - 竞价公告 (CBCIGIT2024000115)
招标公告 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 - 竞价公告 (CBCIGIT2024000115)
更新时间 2024-11-18
关键词
重庆市   智能技术研究院,测量精度
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*
双频激光干涉仪**位移台双轴测量系统
*(套)
镭测
******
测量系统需包含如下*个单元:(*)双频激光器单元 激光功率>*.***,双频激光频差:*.*±*.****,波长长期稳定度:±*.*****,预热时间<*****,工作温度范围**-**℃。(*)信号接收及处理单元 测量范围:*-***,相位卡支持测量轴数:*路参考*路测量,分辨率:***,测量精度:±*.****(真空)±*.****(空气),最高测量速度:**/*,采样频率:*.***-******。(*)环境测量及波长补偿单元 相对湿度:工作范围 **%-**%** 测量精度 ±*%**,空气压力:工作范围 **-****** 测量精度 ±*****,空气温度:工作范围 *℃-**℃ 测量精度 ±*.*℃,材料温度:工作范围 *℃-**℃ 测量精度 ±*.*℃。(*)光学测量单元 光学细分倍数:*倍程光学细分,线性测量范围:**,光束平行度:<*分。
按行业标准提供服务
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