序号 | 设备名称 | 数量/单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
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双频激光干涉仪**位移台双轴测量系统
| *(套) | 镭测 | ****** |
测量系统需包含如下*个单元:(*)双频激光器单元 激光功率>*.***,双频激光频差:*.*±*.****,波长长期稳定度:±*.*****,预热时间<*****,工作温度范围**-**℃。(*)信号接收及处理单元 测量范围:*-***,相位卡支持测量轴数:*路参考*路测量,分辨率:***,测量精度:±*.****(真空)±*.****(空气),最高测量速度:**/*,采样频率:*.***-******。(*)环境测量及波长补偿单元 相对湿度:工作范围 **%-**%** 测量精度 ±*%**,空气压力:工作范围 **-****** 测量精度 ±*****,空气温度:工作范围 *℃-**℃ 测量精度 ±*.*℃,材料温度:工作范围 *℃-**℃ 测量精度 ±*.*℃。(*)光学测量单元 光学细分倍数:*倍程光学细分,线性测量范围:**,光束平行度:<*分。
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按行业标准提供服务
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