暨南大学 - 竞价公告 (CR105592024004854)-比比招标网

规格：***** 参数： *. 膜厚：*.* µ*、** µ*、** µ*、** µ*。 *. 旋涂参数： - 转速：**** ***。 - 时间：** 秒。 *. 特性： - 降低对比度。 - 膜厚可达** µ*及以上。 - 在灰度光刻中，图案深度范围可达**-** µ*。 - 光谱敏感度为***-*** **。 - 可进行高强度激光曝光，不会产生气体。 - 可使用水性碱性开发者进行灰度光刻，使用****基开发者；对于标准*进制光刻，也可使用含金属离子的开发者。 - 适用于电镀。 - 适用于干法刻蚀过程，例如使用****、***、***。 - 适用于标准*进制光刻后的图案重流。

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