中南大学适用于等离子体刻蚀的真空产生系统

申购单类型	竞价类	申购主题	适用于等离子体刻蚀的真空产生系统
发布中标时间：	**-- :**	经费科目	*科研	使用币种	人民币	是否含税	是
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北京泰龙电子技术有限公司

适用于等离子体刻蚀的真空产生系统

北京泰龙电子技术有限公司

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真空腔室及相应真空管路接头 *套规格如下：腔室为****铝材*体成型，容积大*两升；腔体表面阳极氧化真空腔室及相应真空管路接头 ? 腔室****铝材*体成型，流体对称性结构； ? 气体流量计*个； ? 进口压力计*个； ? 进口隔膜阀*个； ? 嵌入式控制系统*套真空泵 *套规格如下： *. 功率：*.*** *. 极限压力：*.****-* *. 采用无弹簧旋片 *. 采用强制供油方式 *. 采用油压式油逆流防止结构

是

**,***.*

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