感应耦合等离子体刻蚀机-比比招标网

基本信息：
申购单主题：	感应耦合等离子体刻蚀机
申购单类型：	竞价类
设备类别：	**.机电设备
使用币种：	人民币
竞价开始时间：	**-- :**
竞价结束时间：	**-- :**
申购备注：	采购管理平台的采购申报项目编号**--*经费人：朱旻昊

申购设备详情：

设备名称	数量	单位	品牌	型号	是否标配	售后服务	规格配置	附件
感应耦合等离子体刻蚀机	*	台	北京创世威纳	*-*	否	、按行业标准提供服务；、是否要求本地有售后服务网点：（） .是 .否 “本地”指采购单位所在省级行政区域；有售后服务网点的证明材料包括：参与竞价公司营业执照，当地某公司营业执照以及该当地公司与参与竞价公司之间签订的有效合作协议。本地供应商无需上传证明文件；外地供应商需上传当地服务网点证明文件压缩包。、保修期为两年，从最终验收合格之日起开始计算。保修期内出现质量问题乙方负责免费维修；非正常使用出现的故障不属保修范围。设备出现故障后，*小时响应，需要到达现场解决时，个工作日内到达。、提供相关材料的工艺参数。、免费培训两人。包括系统工作原理、操作原理、操作技能、*般维修、常见故障排除等。	. 设备主要技术指标.腔体尺寸：Φ**********，经氧化处理的铝质桶形卧式结构，上盖自动开闭，铝刻蚀腔体带有水冷却。.极限真空度：≤×-；.系统漏率：*-./；.静态升压：系统停泵关机后小时后，真空度≤**.系统充干燥*解除真空，短时暴露大气后抽气抽至×-时间小于**，至-≤***。.射频阴极尺寸（最大样品尺寸）：Φ***。.刻蚀均匀性：≤±％（Φ英寸）≤±％（Φ英寸）.典型材料刻蚀速率：**：≥.μ/****：≥μ/*光刻胶：≥μ/**.最小刻蚀线条：***。.主要工艺气体配置：、*、、、*.电源配置耦合电极（上电极）：.*，*，自动匹配偏压电极（下电极）：.***，*，自动匹配.*自动压力控制系统：包含。.刻蚀距离自动调节范围：-，调节精度：.水冷工作台温度：＜*℃.*腔壁冷却：包含.控制方式：基于及工控机的全自动控制方式。.*包含安全报警系统。.设备主要配置.真空刻蚀腔体、样品架系统、体机架、辅助设施，套（创世威纳）.分子泵台，抽速**/，（北京中科科仪***）。.直连旋片式真空泵台，抽速*/，（日本真空独资宁波爱发科）.超高真空电动调节插板阀台，Φ**，（北京中科科仪*）.真空测量系统套，（成都正华）.自动压力控制系统套（创世威纳），含进口薄膜真空计（德国*****）。.射频电源及自动匹配器： ***，套（美国***）。*，套（中山酷美）.质量流量控制器：台（北京星华创）.工艺气路：条（创世威纳配套）.*射频耦合电极及射频引入器套（创世威纳）.可调距离射频阴极及射频引入器套（创世威纳）.自动控制系统套。**及模块（进口德国西门子）、工控机（研华工控）、触摸屏（创世威纳配套）、控制软件（创世威纳）.*循环冷却水机，台（同洲微普）.静音空气压缩机，台.***气体瓶.****气体瓶.****气体瓶.**气体瓶.* *气体瓶.* 各气体配套减压阀*个	无