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磁控溅射镀膜机

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招标公告磁控溅射镀膜机

更新时间 2018-10-25

关键词

广东省磁控溅射镀膜机,创普

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单位信息

竞价单位：华南师范大学
电话： ***********
联系手机： ***********
*-****：******@****.***.**

联系人：王幸福
传真：*
邮编：******

竞价信息

竞价主题：磁控溅射镀膜机
发布日期：****/**/** **:**:**
最高限价(元)：已隐藏
送货要求：签订合同后 ** 天送货。

竞价编号：****************
截止日期：****/**/** **:**:**
开票单位：华南师范大学

送货地址：广东省广州市天河区,华南师范大学

备注

附件

产品信息

详情
序号
产品名称
品牌
型号
标配
产品类别
单位
数量

*
磁控溅射镀膜机
创普
**-***
否
其他货物
台
*.**
保修期： **个月产品规格： *、设备可完成各种单层膜、多层膜和共溅射生长混合膜的制备。提供溅射各种铁磁材料（****）、硬质膜（***等）、金属膜（**、**、**、**、**、**等）、金属氧化物（****、***、***、***等）的镀膜工艺。*、真空室为立式圆柱形腔体，电动上开盖或前开门结构；腔体尺寸：约Φ***(**)×****（**）；前开门配观察窗（含防污板）；镀膜室所有焊缝连接均采用氩弧焊接技术；镀膜室进行内表面抛光，外表面电解处理。*、溅射室极限真空度：≤*.****-***(经烘烤除气后)；系统真空检漏漏率：≤*.****-***.*/*。*、系统从大气开始抽气：溅射室**分钟可达到*.****-***；系统停泵关机**小时后真空度：≤***。*、高真空泵为国际知名品牌高性能分子泵，抽速不小于****/*；低真空泵为双极旋片泵，抽速不小于**/*；高真空阀门*英寸插板阀全套；其它气动阀门全套。*、基片尺寸：*英寸或在*英寸的范围内分成若干个小基片；基片温度：室温-***℃，温控表控温，控温精度±*℃，可控可调；基片公转由调速电机驱动，*-**转/分，连续可调。*、溅射室中配有*套高性能永磁磁控靶，磁控靶配有旋转气动挡板结构，可以实现自动开关靶挡板。并可以监测膜厚；靶与样品距离:****～*****。*、*台****全自动匹配射频电源和*台****数字式直流电源。*、气体流量控制：两路工艺气体（氩气和氧气），采用流量计控制，最大流量*******，集成到主控系统控制。**、在*英寸基片上采用直流溅射生长*****的金属材料和在*英寸基片上、在射频靶位上采用射频溅射生长*****的***、****，要求镀膜不均匀性优于±*%。**、设备配有冷却循环水冷，制冷量功率不小于***。售后服务要求： *. 所有设备均须由供方按清单内的保修时间提供整机保修服务，保修期自供需双方代表在设备验收单上签字之日起计算。保修费用计入本合同总价。*. 保修期内，供方负责对其提供的设备整机进行维修，并且保证每季度上门检修*次，不再向需方收取费用。*. 设备故障报修的响应时间：每天*:**～**:**期间为 * 小时。其余期间为 * 小时。*. 如果设备故障在检修 ** 小时后仍无法排除，供方应在 ** 小时内提供不低于故障设备规格型号档次的备用设备供需方使用，直至故障设备修复。*. 所有设备保修服务方式均为供方上门保修，即由供方派员到需方设备使用现场维修。由此产生的*切费用均由供方承担。