序号

设备及主要配件名称

技术性能指标及配置

（每项指标前如有编号，仅作指示）

数量

备注

*

探针台

* *.* 探针台温度范围：*.* *-****，从室温制冷到*.**的时间不超过*小时。

* *.* 最大磁场：不小于±*.**。

*.* 磁场均匀性：*.*%，****直径*%，****直径。

*.* 制冷形式：液氦制冷。

*.* 磁场类型：超导磁体。

*.* 磁场方向：垂直方向。

*.* 系统要有气体入口，入口需带***的连接方式及截止阀。

*  *.*  有*个直流探针臂，用来做电学实验，可进行直流到*****的射频测量。探针臂分别在防辐射屏和样品台上做热沉，每个探针搭到样品上后，对样品的温度影响小于*.**，探针臂的漏电流要求小于*****（与测试机连接测试），需要提供证明文件。

* *.* 探针臂的可移动距离*方向不小于****。

*.**探针臂的可移动距离*方向不小于****。

*.**探针臂的可移动距离*方向不小于****。

* *.** 至少在*个探针臂上安装温度计，可方便实时监测探针臂温度， 准确判断系统是否达到温度平衡。

* *.** 防辐射屏上要求安装温度计和加热器，系统可进行快速回温。

*.** 磁体上要求安装温度计和加热器，作为系统诊断使用。

* *.** 适合系统的控温仪，可分别对防辐射屏、样品台、探针臂进行控温和测温，建议采用*台*通道控温仪。

*.** 控温稳定性：优于±*****。

* *.** 直流探针具有*****保护结构设计，适合于进行微弱电信号测量，减少漏电流。产品资料需提供探针图片。

* *.** 直流探针阻值为**欧姆，为射频**测量提供很好的匹配阻抗，同时电缆也具有与探针相同的匹配电阻。

*.** 最大样品尺寸：不小于****。

* *.** 真空指标：室温下：&**;*×** ^-* ****,采用干泵和分子泵。

*

*

测试机

*  *.* 测试机提供*******视窗界面，要求包含标准的特性分析测试库≥***种，包含至少*个中功率***。

*  *.* *通道***最大电压源要求≥*** *，电压源设定最小分辨率至少为* **。

*  *.* *通道***最大电流要求 ≥*** **，测量分辨率 至少*.***。

*  *.* 带有**模块，频率范围（至少为）：****-***** ，偏置电压（至少）： ±***（差分模式下±***）。

*.* 系统具备*-*参数分析能力，可提取氧化层厚度、栅面积、串联电阻、平带电压、开启电压、体掺杂、金属-半导体功函数、德拜长度、体电势等参数；上述参数根据测量的*和*的值，通过机器自带软件计算得出，软件计算公式用户可以修改。*-* 测量时，软件可以自动更改测量频率，在变频率测量时可以实现软件控制自动化。

*.* 测试机的各个测试过程均能通过电脑设定程序，然后自动控制测试过程，测试数据能自动保存在电脑硬盘上，测试机软件终身保修。

*.* 带有***接口的****线，能将测试机与电脑连接。

*.* 带有与低温探针台连接的*同轴测试线，并与低温探针台实现稳定连接。

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显微镜

*.* 显微镜，最大放大倍率：≥**×。

*  *.* 显微镜要求配有两种光源（分别为环形光和轴型光）。两种照明灯可在漫反射和镜面反射的样品下自由切换，以达到最好的照明效果。

*.* 配有高清晰***成像系统，**英寸监视器,能实现目视和***切换。

* *.* 显微镜系统光学分辨率要求优于*μ*。

*

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氦气罐

*.* 带有氦气罐及其连接管道，安装时应将氦气罐和探针台连接好。

*

附件

*

探针

*.* 附送探针。

**

附件

购买招标文件联系人：

殷老师

采购人联系人：

谢老师

电话：

***-********

电话：

***-********

传真：

***-********

传真：

***-********

联系地址：

广州市天河区华南理工大学[联系方式]南秀村物资大楼*楼附楼***

联系地址：

广州市天河区*山华南理工大学[联系方式]

邮编：

******

邮编：

******

代理机构项目负责人：

殷小玲

采购单位项目负责人：

罗坚

项目负责人电话：

***-********

项目负责人电话：

***-********

开户行：

中国工商银行广州*山支行

帐号：

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